晶圓快速退火爐，瑞樂晶圓快速退火爐，瑞樂晶圓快速退火爐RTP-150RL。廣東瑞樂半導(dǎo)體科技有限公司專注于晶圓快速退火爐，瑞樂晶圓快速退火爐，瑞樂晶圓快速退火爐RTP-150RL。歡迎垂詢！

一、簡介
1.1 概要
RTP-150RL是在保護氣氛下的桌面式快速退火系統(tǒng)，以紅外可見光加熱單片 Wafer或樣品，工藝時間短，控溫精度高，適用最大6英寸晶片。相對于傳統(tǒng)擴散爐退火系統(tǒng)和其他RTP系統(tǒng)，其獨特的腔體設(shè)計、先進的溫度控制技術(shù)和獨有的RL900軟件控制系統(tǒng)，確保了極好的熱均勻性。
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1.2 產(chǎn)品特點

• ?紅外鹵素?zé)艄芗訜幔鋮s采用風(fēng)冷

• ?燈管功率PID控溫，可精準(zhǔn)控制溫度升溫，保證良好的重現(xiàn)性與溫度均勻性

• ?采用平行氣路進氣方式，氣體的進入口設(shè)置在Wafer表面，避免退火過程中冷點產(chǎn)生，保證產(chǎn)品良好的溫度均勻性

• ?大氣與真空處理方式均可選擇，進氣前氣體凈化處理

• ?標(biāo)配兩組工藝氣體，最多可擴展至6組工藝氣體

• ?可測單晶片樣品的最大尺寸為6英寸（150×150mm）

• ?采用爐門安全溫度開啟保護、溫控器開啟權(quán)限保護以及設(shè)備急停安全保護三重安全措施，全方位保障儀器使用安全

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1.3?RTP行業(yè)應(yīng)用

• ?氧化物、氮化物生長

• ?硅化物合金退火

• ?砷化鎵工藝

• ?歐姆接觸快速合金

• ?氧化回流

• ?其他快速熱處理工藝

• ? 離子注入激活

行業(yè)領(lǐng)域：

• ? 芯片制造 生物醫(yī)學(xué) 納米技術(shù)

• ? MEMS LEDs 太陽能電池

• ? 化合物產(chǎn)業(yè) ：GaAs，GaN，GaP，

• ? GaInP，InP，SiC

• ? 光電產(chǎn)業(yè)：平面光波導(dǎo)，激光，VCSELs

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二、技術(shù)規(guī)格
2.1參數(shù)