熱電偶作用:直接測(cè)量溫度【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

在溫度測(cè)量中，熱電偶的使用極為廣泛，它具有結(jié)構(gòu)簡單、制造便捷、測(cè)量范圍廣、精度高、慣性小和輸出信號(hào)有利于遠(yuǎn)傳等很多優(yōu)點(diǎn)。此外，因?yàn)闊犭娕际且活愑性磦鞲衅?，測(cè)量時(shí)不需外加電源，操作非常方便，所以常被用作測(cè)量爐子、管道內(nèi)的氣體或液體溫度及固體的外表溫度

熱電偶的工作原理

當(dāng)有兩種不同導(dǎo)體或半導(dǎo)體A和B組成一個(gè)回路，其兩端相互連接時(shí)，如果兩結(jié)點(diǎn)處的溫度不同，一端溫度為T，稱之為工作端或熱端，另一端溫度為T0，稱之為自由端(也稱參考端)或冷端，回路中將形成一個(gè)電動(dòng)勢(shì)，該電動(dòng)勢(shì)的方向和大小和導(dǎo)體材料與兩接點(diǎn)溫度相關(guān)【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

這類現(xiàn)條稱之為“熱電效應(yīng)”，2種導(dǎo)體所組成的回路稱之為“熱電偶"，這兩類導(dǎo)體稱之為“熱電極”，所產(chǎn)生的電動(dòng)勢(shì)則稱為“熱電動(dòng)勢(shì)”

熱電偶的特點(diǎn)【晶圓測(cè)溫系統(tǒng)】

1、裝配簡易，替換便捷

2壓簧式感溫元件，抗表性能好

3、測(cè)量精度高

測(cè)量范圍大(-200C~1300C，特殊情況下-270°C~2800C):

5、熱響應(yīng)時(shí)間快:

6、機(jī)械強(qiáng)度高，耐壓性能強(qiáng)

7、耐高溫可以達(dá)到2800度:

8.使用壽命長

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