在半導體制造中，溫度是個關(guān)鍵參數(shù)，它直接影響晶圓的物理性質(zhì)和化學反應。例如，在沉積環(huán)節(jié)中，溫度會影響薄膜的厚度和均勻性；在刻蝕環(huán)節(jié)中，溫度會影響刻蝕的速度和深度；在摻雜環(huán)節(jié)中，溫度會影響雜質(zhì)的分布和激活能。因此，對晶圓表面溫度的精確測量和監(jiān)控是促進半導體制造過程中關(guān)鍵參數(shù)控制的基礎(chǔ)。【晶圓測溫系統(tǒng)】

TCWAFER晶圓測溫系統(tǒng)是一種基于薄膜電阻技術(shù)的高精度測溫系統(tǒng)。它具有響應速度快、測量精度高、穩(wěn)定性好、可重復性好等優(yōu)點，廣泛用于半導體制造過程中。

TCWAFER晶圓測溫系統(tǒng)的核心部件是個薄膜電阻器，被粘貼在晶圓表面，通過測量電阻值的變化來推算出來晶圓表面的溫度。此系統(tǒng)具有較高的靈敏度和穩(wěn)定性，可以精確測量晶圓表面溫度的變化，從而實現(xiàn)對半導體制造過程中關(guān)鍵參數(shù)的精確控制。【晶圓測溫系統(tǒng)】

TCWAFER晶圓測溫系統(tǒng)在半導體制造過程中扮演著至關(guān)重要的角色。它高精度測量和實時監(jiān)控能力為提高芯片良率和性能提供了有力的支持。伴隨著半導體技術(shù)的不斷進步，晶圓測溫系統(tǒng)可能發(fā)揮更加重要的效果。

主要應用

工藝開發(fā)、工藝鑒定、工藝工具鑒定、工藝工具匹配

冷壁薄膜工藝室(1530)、熱壁薄膜工藝室(1535)|0-1100°C

TCWafer熱電偶晶圓熱電偶溫度傳感器半導體熱電偶【晶圓測溫系統(tǒng)】

TcWafer熱電偶則是直接鑲嵌于晶圓表面的溫度傳感器，能夠?qū)崿F(xiàn)晶圓表面溫度的實時測量。憑借放在晶圓表面特定位置之溫度傳感器，可獲得這些特定位置的真實溫度測量值以及整天晶圓溫度分布；此外，也可利用此傳感器來持續(xù)監(jiān)控在熱處理工程中晶圓暫態(tài)溫度變化，例如：升溫，降溫過程與延遲周期等！（溫度的均勻與否，良率）